超精密加工専用ブラスト機

超精密加工専用ブラスト機

ロボット加工型 マスクレス型
超精密装置ロボット加工型 超精密装置マスクレス型
【装置の特徴】
  • ロボットにガンを持たせ精密加工します。
    (MODEL : SCM-4RBY-05-401)
【装置の特徴】
  • マスクレスで粉塵付着無くエッジデリーションやスクライブ加工ができます。段取り不要、後洗浄も不要のすぐれものです。
    MODEL : FDD-1BAR-111)
自動テーブル型 間欠回転テーブル型
超精密装置自動テーブル型 超精密装置インデックステーブル型
【装置の特徴】
  • シリコンウェハーリクレイムや粗面化用の面均一加工システム搭載装置です。前面露出部でウェハーを吸着し装置内部に移動して加工します。
    当社、独自のスリットノズル搭載。(MODEL : HCH-7ATV-NE-212M)
【装置の特徴】
  • 小物・中物を自転公転させて効率良く微細加工する割り出し型自動機です。
    MODEL : SCD-5GTJ-DCNV-404 5×10)
コンベア型 コンベア型
超精密装置コンベア型(HCH-3X7BBART-411M) 超精密装置コンベア型(SCD-7B-NK21L-402)
【装置の特徴】
  • ガラス基板などのダイシング装置。生産ライン導入前の試験装置として、または研究用としてお役立ちしています。
  • 以前は、FPD(フラットパネルディスプレイ) 用基板の隔壁形成生産ラインの条件出しテスト装置として活躍しました。当社独自のスリットノズル搭載。
    MODEL : HCH-3X7BBART-411M)
【装置の特徴】
  • 大きな平板の均一加工、梨地処理、さらにLCB処理※など。ワーク幅:最大3000mm。ブラストガン駆動は、SCR型関節アームを使用。
    MODEL : SCD-7B-NK21L-402)
※LCB処理は、ミクロン~ナノメートルの広範囲に渡って精密な表面粗さ密度・形状をコントロールすることができる当社独自の加工技術です。LCB処理は不二製作所の登録商標です。
台車搬送型  
超精密装置台車搬送型  
【装置の特徴】
  • 台車上の吸着盤に基盤をセットし、装置内に移動して精密加工します。
    MODEL : SCD-3ADCV-SDNH-401)
 

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超精密加工

ミクロサイズからナノレベルまでの高精度なブラスト加工を実現します。

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