低価格規格型量産自動ブラスト機

ロボット搭載 表面処理装置 -RBT-

ロボット制御による、精密で均一な表面処理

多関節型ロボットによる、精密で均一な表面処理が可能です。
不二製作所の豊富な経験をデータベース化することで、均一加工条件が簡単に設定可能な最新システムを採用。
独自のシステムにより、多彩な加工を精密で均一に。スイッチ1つで、加工からエアーブローまで全自動。バラつきなく安定的に量産できます。

装置外観
モニター操作画面 サーボモーターによる回転テーブル
ワークをセットし、「自動」を押すだけ
自動モードでは加工条件を4つ登録可能
ワークを連続・間欠回転させて加工が可能
精密安定 噴射ユニット ロボットによる加工
非磁性体~磁性体、多角形~球形の微粉を低圧でも、安定した表面処理が可能です。
※装置により異なります
狙った所だけ、ピンポイント加工も可能。
精密かつ均一。

個取り生産・バッチ式生産、平面、円筒、職人動作の再現

平面均一加工

ワークサイズ 400mm角まで対応。一個取りでも、並べて複数個を一度に(バッチ処理)でも表面処理が可能。
不二製作所の豊富な経験のデータベース化により、ワークによるバラつきがなく、均一な表面処理ができます。

円筒均一加工

高さ 350 mm までの円筒ワークの加工に対応。不二製作所の豊富な経験のデータベース化により、人では難しい曲面を、バラつきなく安定した表面処理が可能。

オリジナル加工

複雑形状に合わせた表面処理に対応。職人動作の再現も可能。
平面でもピンポイント加工や、円筒でも間欠回転によるピンポイント加工が可能。

対象は、あらゆるワーク、あらゆる用途

静電チャック:ピン立て加工、航空機エンジン シュラウド:溶射前処理、航空機エンジン各種ブレード:ショットピーニング、導光板金型:成型時のグラデーション加工、自動車エンジンピストン:WPC 処理 など

自動回転テーブル型 -ATCM-

加工条件が簡単に設定できる タッチパネル式汎用自動機

少量生産、試作品生産に向いている 自動表面処理装置。手動加工も可能です。
装置正面にて、ワークをセットし、あとは起動ボタンを押すだけ。加工からエアーブローまで全自動で行われ、均一でバラつきがない加工ができます。

装置外観
モニター操作画面 ワークセット位置
ワークをセットし、「自動」を押すだけ
自動モードでは加工条件を4つ登録可能。
生産数も表示されるため、生産管理も可能。
精密安定 噴射ユニット ガン移動の種類と調整方法
非磁性体~磁性体、多角形~球形の微粉を低圧でも、安定した表面処理が可能です。
※装置により異なります
●ガン振動
標準:工具にて振幅調整
オプション:タッチパネル 振幅調整●ガン上下
オプション:タッチパネル 振幅調整

目的に合わせた研磨材・噴射タイプ

SG(重力)式、FD(直圧)式、SC(微粉対応)型に加え、精密安定噴射ユニットを組み合わせることもできるため様々な加工目的に対応できます。

バラつきのない均一な自動加工

ワークが回転し、ガンが振動することでワーク全体を均一に、自動でエアーブラスト加工します。
各種加工条件を設定、編集できます。手動加工も可能です。

向いているワーク・用途

角柱・角錐、円筒形状などのワークや、ギヤ、真空蒸着治具など、小型ワークから比較的大きく軽量なワークの加工に向いています。

間欠回転テーブル型 -GT-

流れを止めない、高効率で均一な表面処理

装置内でワークを加工中に、別ワークの着脱を、扉を開けずに装置正面の同じ位置で絶えず行えるため、無駄のない高い作業効率を誇る表面処理装置です。
装置正面にて、ワークをセットし、あとは起動ボタンを押すだけ。加工からエアーブローまで全自動で行われ、均一な加工でバラつきなく量産できます。

装置外観
モニター操作画面 ワーク着脱位置
ワークをセットし、「自動」を押すだけ。
自動モードでは加工条件を4つ登録可能。
装置正面のワーク着脱位置。
仕切り板タイプのため、扉を開けずに着脱が可能
作業効率の高い自動加工 ガン移動の種類と調整方法
●ガン振動
標準:工具にて振幅調整
オプション:タッチパネル 振幅調整●ガン上下
オプション:タッチパネル 振幅調整

作業者を選ばず、均一加工で量産

作業者はワークをセットするだけ。各種加工条件は設定、編集できます。
また、ワークの着脱をロボット対応にして、完全自動ライン化にすることも可能です。

向いているワーク・用途

刃工具、ギヤ、角柱・角錐、円筒形状など、小型ワークの多量生産に向いています。

ウェハー用 表面処理装置 -ATV-

完全自動制御による、精密で均一な表面処理

全ての可動をサーボ制御で行うことで、精密な表面処理が可能です。
不二製作所の豊富な経験をデータベース化することで、均一加工条件が簡単に設定可能な最新システムを採用。装置正面にて、ワークを置くだけでバキュームにより吸着固定され、あとは起動ボタンを押すだけ。
加工からエアーブローまで全自動で行われ、精密で均一な加工でバラつきなく量産できます。

装置外観
モニター操作画面 ワークセット位置
ワークをセットし、「自動」を押すだけ
ウェハーの状態

SAW デバイスやパワーデバイス等のウェハーに最適な装置

外径精度の維持による品質向上

スライシング時の粗い切断面のままラッピングすると、ツールマークの方向性による砥石との喰い付きの偏りにより、ラッピング後には端面が直角でなくなる場合も。
ラッピング前にATV による表面処理をすることで、解決します。

チッピング防止による不良率低減

ラッピング後の面は、鋭利な突起や不規則な粗さがあり、そのままポリッシングすると突起が脱落(チッピング)し一緒に研磨されることでウェハーにキズが出来てしまいます。
ポリッシング前のATV による表面処理は、均一で微細な表面粗さにし加工歪層を除去することで、これを解決します【=ドライ・エッチング 】。

成膜時の反り、歪みによる不良率低減

金属成膜時は熱伸縮により、ウェハーに反りや歪みが発生してしまいます。金属成膜前にATVによる表面処理をすることで、これを解決します。

下記の様なタイプもご相談ください

台車式自動:ADAT型 (概略説明) 間欠回転式:GT型 (概略説明)
量産向け専用自動機(ADAT型) 量産向け専用自動機(GT型)
【装置の特徴】
  • 大物重量ワークのブラスト加工に対応する台車テーブル式ブラスト装置です。
  • 1回の加工時間が、5~30分と比較的長時間を必要とする場合に適します。
  • 側台で台車テーブル上にワークをセットして、台車テーブルをブラスト室に移動させ、台車テーブルを回転させながら全面をブラスト加工する装置です。
【エアーブラスト(サンドブラスト)加工概要】
  • 各種金型(プレス、ダイキャスト、ゴム金型等)や大型焼入品等の大型で重量の あるワークを台車テーブル上に1個または複数個並べ、台車テーブルを回転させてブラスト加工を行ないます。ワークの側面及び上面加工が可能です。底面の加工は、反転させて行ないます。
【装置の特徴】
  • 間欠回転する大テーブルと自転する小テーブルによる親子型のテーブル方式です。
  • 本体内部でワークのブラスト加工中に、正面テーブル露出部でワークの着脱が行なえる為、 作業時間の無駄がありません。
  • ワークの着脱をロボット対応とする事も可能な装置です。
  • 様々な方向からガンをセットできる為、生産能力への対応が容易です。
  • 1時間に100~600個程度の処理量に適した装置です。
  • 四角形や円筒形に近い形状で小型、中型ワークの加工に向いています。
連続回転テーブル型:AT型 (概略説明) 自動回転テーブル型:ATCM型 (概略説明)
量産向け専用自動機(AT型) 量産向け専用自動機(ATCM型)
【装置の特徴】
  • 水平自動回転テーブルの円周上にセットされたワークが本体内を通過する際に、 ブラスト加工及びエアーブローが行なわれます。
  • 中小サイズの矩形形状、平板形状のような、回転させては加工しにくいワークに向いています。
  • 冶具にセットする事で、小物部品の加工にも適しています。
  • ワークの着脱は、作業者が本体前面のテーブル露出部で行ないます。
【装置の特徴】
  • テーブル上にワークをセットし、自動回転させてブラスト加工します。
  • ブラストガンは、様々な角度から複数本取付ける事ができます。
  • ワークの着脱は、作業者が行ないます。
  • 1時間に10~100個程度の処理量に適する簡易自動機です。
  • 四角形や円筒形に近い形状で小型、中型ワークの加工に向いています。
ローラーコンベア式:B型(概略説明) / BAR型(概略説明) 跳ね上げ式:YK型 (概略説明)
量産向け専用自動機(B/BAR型) 量産向け専用自動機(YK型)
【装置の特徴】
  • ワークの入口と出口が別々のため、製造工程の中に取り入れ易い。
  • ワークを連続してセットできるため、時間の無駄がありません。
  • ワークセットは作業者が行なう場合も、前工程と接続する場合もあります。
  • ガンの取付け数量により、生産能力への対応が可能です。
  • ワークの取り出しは、作業者が行なう場合、シュートによる落下、そして後工程と接続する場合等、様々な対応が可能です。
  • 下側からのブラスト噴射も出来ますので、ワークの底面を含む全面加工が可能です。
【用途】
  • 中物、長尺物、重量物のワークの加工に向いています。
【装置の特徴】
回転可能なワークで全面を加工する場合に向いています。 加工数量により、前述の加工方式の型式から最適な機種を選択できます。
  • YK方式:バッチ処理で少量の場合に適しています。
  • YK-J方式又はYK-JO方式:前工程の装置と連動させて、作業者が手でワークをセットする場合に適しています。
  • YK-TJ方式又はYK‐RJT方式:製造ライン内に組み込んで、自動的にワークを流す場合に適しています。この方式は、ワークを一定量シュートにためておいて、順次加工していく事も可能です。但し、長尺ワークの場合は、シュートの使用を出来るだけ控えます。
    自動車部品メーカー等での多様なラインにも対応できる方式です。
  • YKS方式:比較的小型で短いワークの場合に適しています。
【用途】
  • 回転可能なワークで全面を加工する場合に向いています。円筒形状のワークが対象となります。
【加工ワーク例】
  • ギア、シャフト、リング、スプール、キャップ、ボス、ハウジング、ディスク等