atv series

ATV 静電チャック専用エンボス加工装置

エアーブラスト（サンドブラスト）装置

12インチ用静電チャック6枚同時加工を実現

高精度均一加工を実現し、静電チャックの品質向上に寄与

ガン移動や独自のシステムで研磨材噴射量にこだわり、高精度なエンボス加工（ピン立て加工）を実現致します。

複数枚同時加工で生産性向上

1台で複数枚同時加工が可能な量産機です。
処理サイズ、同時加工枚数はお打ち合わせの上、専用設計にて製造可能です。

処理方式

ロボット
バッチ処理

適合性能

量産対応
均一品質
省力化

12インチ用6枚同時加工装置キャビネット内

contents

エンボス加工（ピン立て加工）事例
装置の特徴

case エンボス加工（ピン立て加工）事例

ATVシリーズの自動機では高精度パターン切削で成膜品質の安定に寄与致します。

エンボス径（ピン径）最小50㎛、エンボス高さ11㎛の加工技術を提供。
高さ±0.5㎛の加工精度を実現致します。（材料、その他諸条件により異なります）

シリコンウエハーの温度を効率的かつ均一に冷媒に逃し温度コントロールをする役割を持つ静電チャックにおいて、ウエハーの温度を一定に保つ為に、ピンの高さを均一に加工することが要求されます。
また、ピンの高さは繊細なウエハーの着脱にも影響を及ぼします。
不二製作所では、貴社製品に合った高精度パターン切削が可能な自動機をご提案致します。

アルミナプレートエンボス加工（ピン立て加工）事例

スクロールできます

	形状	エンボス高さ	エンボス径
目標値	円錐	11㎛ ±0.5㎛	800㎛±10㎛
加工後	円錐	11.184㎛	801.934㎛

弊社測定器により対応測定結果は諸条件により異なります

ボトム面の磨きやR付けについて

point 装置の特徴

業界初！高精度量産型の静電チャックエンボス加工自動機

品質を保ちながら複数同時加工をすることで、生産性向上が可能な装置です。

量産＝生産性向上

① 製品の不揃いを解消し量産へ対応
従来の装置で量産するには複数台の装置が必要となり、それぞれの装置の加工能力や精度によって製品が不揃いになってしまうケースが見られました。
弊社では、複数の製品を同一条件で加工するバッチ処理で製品の不揃いを解消し、品質を安定させながら量産することを実現致しました。

② タッチパネルにて加工条件を微細に調整可能
手作業では難しい、ガン移動の制御や噴射量の微調整をタッチパネルの操作1つで簡単に調節することが可能です。
機械の運転状態も確認することができます。
加工条件の保存も可能なことから、同一条件での加工が何度でも再現できます。

③ 複数の吸着治具により1台で量産加工を実現
装置1台につき複数の吸着治具を備えている為、装置を複数台設置せずとも静電チャックを高精度で量産することが出来ます。
複数同時加工することで、コスト削減に繋がるだけでなく搬入と取り出しの回数が減らせる為、作業者の負担も軽減することができます。

高精度＝品質向上

④ システムをデジタル制御し高精度な加工技術を提供
デジタル制御により装置システムを制御して加工条件を微細に調整しております。
ガンの位置や研磨材噴射量などの調整を全てシステム化することで、同一加工面に切削量や切削範囲の偏りが生じずに均一に加工することができます。
加工対象が複数の場合でも変わらずに同一条件で加工することが可能です。

⑤ 高精度のサイクロン分級で研磨材粒度を一定に保つ
サイクロン分級により、研磨材の粒度を一定に保ちながら循環させることで、安定した切削能力を確保できます。

⑥ 研磨材定量噴射ユニット搭載で研磨材の定量噴射
弊社独自の研磨材定量噴射ユニットを搭載し研磨材噴射量を制御し、噴射量を安定させます。デジタル制御により噴射量の調整も可能です。

⑦ 異物除去システムでコンタミ防止
独自開発した異物除去システムにより、安定加工を妨げるラミネートシートやセラミック基板の削りカスなどを除去します。