atv series

ATV 吸着回転テーブル

エアーブラスト(サンドブラスト)装置

ウエハー等の薄物脆性材料を均一加工

水平高速回転テーブルの円周上にある複数の吸着治具付きの小テーブルにワークを保持させて、セット後に一定時間加工とエアブローを行う量産加工機です。
ウエハー等の破損しやすい薄物脆性材料へ精度高く粗面化、ピン立て加工をするのに適しています。

処理方式
  • バッチ処理
適合性能
  • 量産対応
  • 均一品質
  • 省力化

point 装置の特徴

point01

吸着治具で保持しバッチ処理

装置正面開口部から見える小テーブルが装置内を含め数十個用意されており、小テーブルをゆっくりと動かしながら吸着治具にワークを置き、すべての小テーブルにセット後、一気に加工するバッチ処理型です。

point02

均一仕上げ

通常より均一な加工精度が求められるワークに対しては、単位面積当たりの加工時間を一定になるように制御することで、加工面全体をより均一に仕上げることが可能です。

point03

高精度と量産化の両立

画像は静電チャックのピン立て加工をしたものです。
その他ウエハーやガラス基板の粗面化などにこの装置は利用されており、お客様からの高度な要求公差にお答えしつつ、量産加工を実現致します。

point04

ブラスト工程の無人化

繊細な取扱いが要求されるワークについては、ワークの着脱も、吸着ハンドを付けたロボットやローダー・アンローダーと組み合わせることでブラスト工程を無人化することも可能です。

specification 装置仕様

point
  1. ウエハーやセラミック基板の加工面を均一精密加工
  2. マスキングすることで、パターニング切削も可能

テーブルとノズルの動き

水平高速回転する大テーブルの円周上にある複数の吸着治具付きの小テーブル上にワークを保持させて加工していきます。
ノズルは上側から振動して加工する方式、もしくは高精度の加工を実現するために小テーブルの中心部と周辺部の噴射加工されている時間が均一になる様に制御する方式によって、全面を均一加工していきます。

加工作業の流れ

装置開口部からゆっくり大テーブルを移動させながら、ワークを吸着治具付き小テーブルにのせてセットしていきます。
すべての小テーブルにワークをセットさせた後、スタートすると一定時間ブラスト加工、その後のエアブローが行われ停止。その後吸着を解除しワークを取り出します。

case 装置実績例

ワーク着脱口
タッチパネルで各種操作

装置実績例 01

Φ100mm程度のワークを作業者が装置正面の着脱口にて吸着治具にワークを置いてき、セットしたワークを自動で均等に加工していきます。

装置実績例 02

Φ300mm程度のセラミック基板の表面を最大6枚まで一気に自動で粗面化や掘り込み加工していくための装置です。作業者が前扉や横扉を開けてワークをセットしていきます。

装置実績例 03

当社独自の研磨材定量噴射ユニットを搭載することで中心粒径が数μmレベルのセラミックス研磨材の安定噴射及び噴射量管理、調整を可能にした装置です。

ロボットによるワーク着脱
加工室内のノズルを持ったロボット

参考:1個取り完全自動機

ウエハーやセラミック基板などの繊細な取扱いが要求されるワークを1枚ずつ高精度に加工していきたい場合のロボット付属装置です。
吸着ハンドを備えたロボットと連動し、着脱及び加工の一連の流れを完全自動化しております。

nozzle motion ノズルの動き

軸垂直ガン揺動型

ノズルを横方向に動かす円板等の比較的フラットなワークを加工する時に用いるタイプです。
ウエハーやセラミック基板への加工の場合は、単位面積当たりの加工時間を一定になるように制御することで、加工面全体をより均等に仕上げていきます。

ガン振動型

回転するワークに対してノズルを振動させる事でブラスト加工を行います。
軸垂直ガン搖動型より加工精度は落ちますが、装置価格を抑えて効率よくスピーディーな加工を行っていきます。

contact

不二製作所のブラストは多種多様な用途に使われています。まずはお気軽にお問い合わせください。

  • 東京本社

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      03-3686-5104
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※各営業所でもテスト加工可能です。